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        地址:
        湖南省株洲市天元區泰山西路2008號聯合廠房八

        氮化硅粉體燒結爐
        產品介紹
        高端氮化硅粉體燒結爐具有H2安全保護、防竄氣技術 、多段溫度曲線設定,多種氣體流量自動精準控制(無需人工調節)、脈沖式充氣、氣體循環控溫、發熱體衰減檢測、發熱體漏電監測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產。
        產品參數
        裝料空間(W*H*L) 500*500*1800
        最高溫度 1600℃
        最高工作壓力 0.9bar
        極限真空度 0.5pa
        真空泄漏率 ≤5×10-3 mbarl/s
        真空泵組 旋片泵+羅茨泵
        升溫速率
        (滿載、≥1500℃)
        ≥8℃/min
        溫度均勻性 ≤±4℃
        具備功能 真空燒結、靜態燒結、氣氛燒結、急速冷卻
        工藝氣體種類 H2  N2  Ar


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        • Hunan Vesa Technology Co., Ltd.
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